Технологія виготовлення тонкоплівкових резисторів

Резистор (англ. resistor, від латів. resisto — чиню опір), — пасивний елемент електричного кола, в ідеалі що характеризується тільки опором електричному струму, тобто для ідеального резистора у будь-який момент часу повинен виконуватися закон Ома: миттєве значення напруги на резисторі пропорційно струму що проходить через нього . На практиці ж резистори в тій чи іншій степені володіють також паразитною ємкістю, паразитною індуктивністю і нелінійністю вольтамперної характеристики.

ЗМІСТ
ВСТУП 3
1 ЗАГАЛЬНІ ВІДОМОСТІ 4
2 МЕТОДИ НАНЕСЕННЯ ТОНКИХ ПЛІВОК 6
2.1 Метод термічного випаровування 6
2.2 Метод катодного розпилення 9
2.3 Метод реактивного розпилення 11
2.4 Метод іонно-плазмового розпилення 11
2.5 Метод термічного розкладання 14
2.6 Метод електрохімічного осадження 15
3 ПРОЦЕС ВИГОТОВЛЕННЯ ТОНКОПЛІВКОВИХ РЕЗИСТОРІВ 17
3.1 Обробка основ резисторів 17
3.2 Металізація основ 19
3.3 Прикріплення виводів 23
ВИСНОВКИ 27
СПИСОК ЛІТЕРАТУРИ 28