Лекции по физико-химическому процессу обработки

       Лекция  №17

       Лучевые методы обработки.

       Электроннолучевая обработка

       Схемы обработки.

       Возможности электроннолучевой обработки

       Электроннолучевая обработка.

       Сущность  электроннолучевой обработки заключается  в высококонцентрированном воздействии электронным пучком перемещающегося в вакууме на поверхности обрабатываемого материала (рис.1), при этом энергия электронов при соударении с поверхностью обрабатываемой заготовки превращается в тепло, в результате чего металл разогревается локально и происходит сваривание или расплавление материала. 

       Рис.1 Схема установки для электроннолучевой  обработки

       Точность  диаметра отверстия, полученного при  обработки 0,01-0,05 мм.

       Источником  электронного луча является катод 1 представляющий собой вольфрамовую спираль,  которая  нагревается до t=2600…2800 C.

       При этой температуре происходит термоэлектронная эмиссия катода. Около катода находится  фокусирующий элемент 2, на который  подается отрицательное, относительно катода, напряжение (напряжение смещения), задачей которого является предварительная фокусировка электронного луча и управляет его интенсивностью.

       Для ускорения электронов служит анод 3, на который подается напряжение до 150 кВт. Фокусирующие катушки 4 расположены во взаимно перпендикулярных плоскостях, и управляют электронным лучом, направляя его между в электронно-оптический центр магнитной фокусировки системы 6.

       Между системами 4 и 6 расположена  диафрагма 5 из вольфрама с водяным охлаждением. Она служит для отсечения рассеянных электронов. Фокусное расстояние магнитной линзы 6 изменяется в зависимости от изменения тока, проходящего через обмотку.

       Ниже  фокусирующей системы 6 расположены  отклоняющие катушки 7, которые обеспечивают перемещение фокуса луча по поверхности  заготовки 8. Вакуумная камера 9, обеспечивает требуемое разрежение.

       При обработке заготовок, требующих  значительного перемещения луча по поверхности, применяется система  перемещения самой заготовки.

       Электроннолучевая обработка используется в основном в микроэлектронике при изготовлении прецизионных отверстий, и сварки ответственных малогабаритных изделий. 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

Литература 

1. Подураев  В.Н. Технология физико-химических методов  обработки. – М.: Машиностроение, 1985.
2. Оборудование для размерной электрохимической обработки деталей машин. /Ф.В. Седыкин, Л.Б. Дмитриев, Н.И. Иванов и др. – М.: Машиностроение, 1980.
3. Артамонов Б.А., Вишницкий А.А., Волков Ю.С. Размерная электрохимическая обработка металлов. – М.: Высшая школа, 1978.
4. Марков А.И. Ультразвуковая обработка материалов. – М.: Машиностроение, 1980.
5. Лазерная техника и технология. В 7 кн. Учебное пособие для вузов/А.Г. Григорянц, А.Н. Сафонов. – М.: Высшая школа, 1978.
6. Высокоскоростное электрохимическое формообразование / А.Д.Давыдов, Е.Козак. – М.: Наука, 1990. – 272 с.
7. Артамонов Б.А., Волков Ю.С., Дрожалова В.И. и др. Электрофизические и электрохимические методы обработки маиериалов. Учеб. Пособие (в 2-х томах). / Под ред. В.П. Смоленцева. –М.: Высш.шк., 1983. –247с.
8. Справочник по электрофизическим и электрохимическим методам обработки. / Под ред.  В.А.Волосатова.  - Л.: Машиностроение. Ленингр. отд-ние, 1988. - 719с.
9. Абрамов О.В., Хорбенко И.Г., Швелга Ш. Ультразвуковая обработка материалов. М.: Машиностроение, 1984. - 280с.

      Рассмотрено на заседании              

кафедры ФХПиТ                              

      Протокол N    от ________2000г.                

Зав.кафедрой ФХПиТ       

_______________ В.В.Любимов