Исследование электрофизических свойств гетероструктур Pt/AlN/SiC/Si

Целью работы является изучение физических свойств гетероструктур Pt/AlN/SiC/Si. Для исследования свойств поставлены следующие задачи:
-исследовать электрический отклик со структуры SiC/Si на модулированное тепловое (световое) излучение;
-исследование изменения фотоэлектрической фазы отклика при использование фильтров с различными длинами волн;
-провести исследования диэлектрических свойств гетероструктуры на основе нитрида алюминия, сформированного на подложках SiC/Si;
-показать, что наблюдаемый электрический отклик с гетероструктуры Pt/AlN/SiC/Si имеет фотовольтаическую природу.

1. Введение…………………………………………………………3

2. ГЛАВА 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ……………………………………..4

§1.1. Структура и физические свойства карбида кремния…………4

3. § 2. Структура и свойства нитрида алюминия………………….......11

4. §3. Тонкопленочные структуры на основе нитрида алюминия…..13

5. ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ МЕТОДИКИ И ОБЪЕКТЫ

ИССЛЕДОВАНИЯ……………………………………………………..17

§ 1. Объекты исследования……………………………………………17

6. § 2. Измерение диэлектрических характеристик…………………..18

7. § 3. Метод динамического пироэффекта.............................................19

8. ГЛАВА 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ...................21

§1. Электрический отклик от структуры SiC/Si на воздействие

модулированного лазерного излучения и излучения от источника

ОИ-24…………………………………………………………………….21

9. §2. Диэлектрические свойства структуры Pt/AlN/SiC/Si…………23

10. §3. Электрический отклик от структуры AlN/SiC/Si на воздействие

модулированного лазерного излучения…………………………….26

11. Выводы………………………………………………………………….29

12. Список литературы……………………………………………………30