Физико-химические основы в технологии РЭС

После анализа существующих методов контроля реологических свойств веществ предложены методы для контроля реологических свойств фоторезистов. При выборе метода учитывались его: экспрессивность, точность, экономичность, надежность, современность и актуальность.

Введение 4
1.1 Общие сведения о реологии 4
1.2 Актуальность и практическая значимость 4
2. Фоторезисты 6
2.1 Общие сведения 6
2.2 Химический строение 7
2.3 Параметры фоторезистов 10
3. Вязкость и классификация текучих материалов 11
3.1 Влияние молекулярных характеристик на реологические свойства 14
3.2 Влияние длинноцепных разветвлений на реологические свойства 17
4. Экспериментальное определение вязкости 20
4.1 Ротационные вискозиметры 20
4.2. Приборы Ребиндера–Вейлера 23
4.3 Шариковые вискозиметры 24
4.4 Капиллярные вискозиметры 25
4.5 Электровискозиметры и магнитовискозиметры 27
4.6 Автоматические капиллярные вискозиметры погружного типа 30
5. Экспериментальное определение поверхностного натяжения 37
5.1 Статические методы 38
5.1.1 Метод максимального давления в газовом пузыре 39
5.1.2 Метод неподвижной капли 41
5.1.3 Метод капиллярного поднятия 43
5.1.4 Метод висящей капли 44
5.2 Струйные или аэродинамические методы контроля поверхностного натяжения 46
5.3 Контроль поверхностного натяжения жидких веществ в промышленных условиях 46
6. Жидкотекучесть 50
6.1 Основные сведения 50
6.2 Экспериментальное определение жидкотекучести 51
7. Стабильность свойств полимеров во времени 53
7.1 Общие положения 53
7.2 Виды деструкции полимеров 55
7.2.1 Термоокислительная 55
7.2.2 Фотодеструкция 56
7.2.3 Радиационная 56
7.2.4 Гидролитическая 57
7.2.5 Механодеструкция 57
7.2.6 Биологическая 58
7.3 Контроль стабильности свойств фоторезистов 58
8. Выводы 61
Литература 62