18 флореаля (7 мая) он произнес длинную  речь против полного атеизма  в поддержку деизма — полухристианского еретического течения, сторонником которого он отчасти был. «Республика — есть добродетель», таково её начало; далее идут нападки на врагов добродетели и доказывается необходимость провозглашения деизма. «Французский народ — провозгласил по предложению Робеспьера национальный конвент, — признает Верховное Существо и бессмертие души. Он признает, что достойное поклонение Верховному Существу есть исполнение человеческих обязанностей. Во главе этих обязанностей он ставит ненависть к неверию и тирании, наказание изменников и тиранов, помощь несчастным, уважение к слабым, защиту угнетенных, оказывание ближнему всевозможного добра и избежание всякого зла». Разрешено было праздновать воскресенье, вместо декады.

      В Европе стали видеть в Робеспьере усмирителя революции; Пруссия изъявила готовность вступить в переговоры с ним.

      По  желанию Робеспьера, конвент декретировал торжественное празднество в честь Верховного Существа (8 июня). В голубом фраке, с большим букетом из цветов, плодов и колосьев (традиционные атрибуты древних языческих культов), Робеспьер шёл, как президент, впереди других членов конвента.

      22 прериаля Робеспьер представил  закон, на основании которого  всякий гражданин обязан был донести на заговорщика и арестовать его. Судопроизводство было крайне упрощено, наказание — смерть. В последующие семь недель казни удвоились: с 20 июня до 27 июля в Париже было казнено 1366 человек. Некоторые авторы считают, что своим террором Робеспьер приносил человеческие жертвы Верховному Существу и сам он видимо полагал, что чем больше врагов революции он принесёт в жертву «богине Свободе», тем больше возрастёт его личное могущество.

      Робеспьер перестал появляться в комитете общественного  спасения; комитеты усилили террор, чтобы возбудить ненависть против Робеспьера, но все ещё не решались вступить с ним в борьбу. Распускали о Робеспьере всевозможные слухи, обращали во вред ему пророчество полоумной старухи  

      Екатерины Тео, которая, богохульствуя, называла себя богородицей, а Робеспьера —  своим сыном.

      Убежищем  от политики для Робеспьера была семья  столяра Дюпле, дочь которого боготворила Робеспьера, называя его спасителем. Вообще у Робеспьера было много поклонниц («вязальщиц», фр. tricoteuses de Robiespierre), приходивших на заседания Конвента.

      Распространялось  убеждение, что Робеспьер приготовил списки новых проскрипций.

      Всегда  боязливый Робеспьер стал выходить из дома в сопровождении вооружённых якобинцев.

      1 июля Робеспьер произнес речь, касавшуюся развращенных, снисходительных, неистовых и непокорных. Целью речи было внушить мысль о необходимости очищения комитетов.

      11 июля он снова говорил о  проскрипциях. 60 депутатов боялись  ночевать у себя на квартирах.

Падение и казнь.

      С 19 июня до 18 июля Робеспьер не показывался  в конвенте, постоянно заседая в якобинском клубе. Тщательно отделав новую речь, он произнес её в конвенте 8 термидора (26 июля). Вместе с новыми выпадами против «партии дурных граждан», Робеспьер указал на существование заговора против общественной свободы в недрах самого конвента. Необходимо, говорил он, возобновить состав комитета общественного спасения, очистить комитет общественной безопасности, создать правительственное единство, под верховной властью конвента.

      Обвинения были настолько неопределенны, что  каждый в конвенте мог опасаться  за собственную жизнь. В смущении конвент постановил напечатать речь Робеспьера, но Бийо-Варенн настоял на предварительном рассмотрении её комитетами.

      У Робеспьера потребовали, чтобы он назвал имена обвиняемых, но он отказался. Вечером он прочёл ту же речь в клубе якобинцев, с восторгом принявшим её. 
 

      27 июля (9 термидора), последовало падение  Робеспьера. «Гора» освистала его, речь его прерывали криками: «Долой тирана!». Робеспьера арестовали и отвели в тюрьму. За него вступился общинный совет. Несколько якобинцев освободили Робеспьера и привели в ратушу; за ним туда беспрепятственно проникли жандармы. Один из них выстрелом из пистолета раздробил челюсть Робеспьера (по некоторым версиям[источник не указан 286 дней], это была попытка самоубийства).

      По  пути к казни, совершившейся 10 термидора, чернь иронически приветствовала раненого Робеспьера криками: «король» и «ваше величество». Террор, который народ отождествлял с личностью Робеспьера, прекратился. Вместе с Робеспьером были казнены ближайшие его сподвижники — его брат Огюстен, Сен-Жюст, Кутон, Леба.

      Могилы  Робеспьера не существует, его останки  покоятся в безымянной могиле вместе с казненными 10 термидора его  сподвижниками. Версия о якобы существующей могиле и эпитафии: «Прохожий, не печалься над моей судьбой: ты был бы мертв, когда б я был живой» являются чистым вымыслом.

      Другие  источники называют могилой Робеспьера братскую могилу на кладбище Пик-Пюс («Ловец блох»), где захоронены ещё 1306 казнённых «врагов нации и революции», причём его тело было брошено в тот же ров, что и казнённые по его приказу ранее 16 юных монахинь-кармелиток, вся вина которых состояла в запрещённых революционерами молитвах, от чтения которых они не отказались в период якобинской дехристианизации.